低温泵；一种利用极低温表面把气体分子“冷凝、吸附或冻结”下来，从而在真空系统中实现抽气的真空泵，常用于半导体、表面科学与高真空/超高真空设备。（也常写作 cryo pump）
/ˈkraɪoʊˌpʌmp/
The lab uses a cryopump to maintain a clean high vacuum.
实验室使用低温泵来维持洁净的高真空。
After the chamber was baked out, the cryopump quickly removed residual water vapor, improving the measurement stability.
腔体烘烤除气后，低温泵迅速抽走残余水蒸气，提高了测量的稳定性。
cryo- 来自希腊语 kryos（“寒冷、冰”），pump 表示“泵、抽送装置”。合起来字面意思是“用低温来抽气的泵”，强调其核心原理：靠“冷”把气体捕获而不是靠机械压缩排出。
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